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坩埚使用注意事项:
注意不要给机械带来外力撞击,更不要从高处落下或撞击。不能够被水淋湿,这种石墨坩埚需要保存在干燥的地方。在筑熔干燥后不能使其接触到水。资源管理过程人力资源、生产设施是质量管理体系有效运行的保证,也是产品实现的基础,本过程对上述两种资源进行管理和控制。使用期间不能够将火焰等直接对准坩埚,如果喷到,坩埚底部会出现明显的黑色痕迹。在停止使用之后要将剩余的材料尽量取出,坩埚内不能留有残液。像是除渣剂等在使用中要适量,防止侵蚀坩埚,过量使用会导致坩埚发生破裂。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。4、在使用坩埚炉和气氛炉前,先检查加热材料是否适合加热,对于不适合的不要加热,比如容易产生液体,腐蚀性气体的材料不要加热。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。石墨坩埚的养护方法:对于寿命已经到了期限的,需要进行更换,对于没有到寿命期限的且暂时不用的,需要进行密封在塑料袋中,放入纸箱打包,并注明炉号、更换原因、日期等,妥善保管。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
坩埚可以分为石墨坩埚,粘土坩埚,和金属坩埚三大类。由于性能,用途和使用条件不同,所用的原料,生产方法,工艺技术和型号规格也有所不同。坩埚的的生产原料,可以概括为三大类型。粘土试金坩埚应用范围用于各种实验室金属样品分析及熔料用,化验室及各种工业分析。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火粘土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。
石墨坩埚的主要原料是结晶形天然石墨。石墨坩埚分为普通石墨坩埚,异性石墨坩埚和高纯石墨坩埚三类。具有良好的热导性和耐高温性热膨胀系数小,防腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。石墨坩埚的优良性能是其是、成为坩埚的更佳选择。
